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オフライン解析ソフト
「Aries」
機能
- CADデータ（設計データ）を高速表示
- CADデータと顕微鏡像を重ね合わせて表示（オーバレイ表示）
- 簡単なアライメント作業で、複数顕微鏡像をCADデータへ自動配置
特長
- 使用頻度の高い装置を占有することなく、作業者のデスク上で欠陥候補位置の解析が行なえます。
- CADナビゲーションとの連携がとれる為、各装置との欠陥候補位置の共有化が可能です。
- 使い易いGUIにより直観的な操作ができ、レポート作成等に大変効果的です。
