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CADナビゲーションシステム
「NASFA」「AZSA」

機能

  • 設計CADデータとステージ・表示倍率の連動
  • SEM/SIM像と設計CADデータのオーバーレイ
  • データロケータ機能(故障候補座標の登録)
  • 等電位ノード(配線)トレース機能
  • フェイルビットマップ、ウェハマップ等、豊富なオプション機能を搭載

特長

  • CADデータ(設計データ)と各解析装置のステージが連動し、誰でも簡単に故障候補の位置出しが可能です。
  • CADデータから等電位ノードを追跡し、欠陥範囲の絞込みが可能です。
  • SEM/SIM像とCADデータを重ねて表示(オーバレイ表示)する事による下層配線の確認と、加工時間のスループットの向上が可能です。
  • オーバレイ表示によりプローブ位置の確認が容易に行なえます。

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