CADナビゲーションシステム「AZSA-HS」

製品概要

装置のステージと連動し、装置画像とCADデータを重ね合わせることで、サンプル表面では見えない下層部の配線等の位置を認識しながらの加工（回路修正等）や、エミッション解析、EBAC解析等の作業を効率的に行うことが可能になります。

特長

• CADデータと装置ステージ、倍率が連動し、簡単に故障候補の位置出しが可能です。
• CADデータ上で等電位ノードを追跡し、欠陥範囲の絞り込みが可能です。
• 装置画像とCADデータを重ねて表示（オーバーレイ）することで、下層配線の位置特定や加工、プローブ位置の確認等の時間を短縮することが可能です。
•  データロケーター機能を使うことで、欠陥情報、発光点解析情報、加工情報等を共有し、解析作業をシームレスに行うことが可能です。
• 大規模データの読み込みが可能です。
• マルチフォーマット（OASIS, MEBES, JEOL, HL, TOSHIBA, Job Deck等）に対応しています。（オプション）
• CADデータの3D/断面表示が可能です。
• 回路図表示機能を追加できます。（オプション）
• CADデータなしで、電子顕微鏡画像上で顕微鏡と同じ観察位置を特定することができます。

搭載可能装置（用途）

• FIB（配線修正）　／　FIB/SEM（サンプリング）　／　SEM（観察）　／
  エミッション顕微鏡（発光点解析、IR-OBIRCH解析）　／　ﾌﾟﾛーﾊﾞｰ（EBAC解析）

詳細情報

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