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CADナビゲーションシステム
「AZSA-AR」「AZSA-HS」
機能
- 設計CADデータとステージ・表示倍率の連動
- SEM/SIM像と設計CADデータのオーバーレイ
- データロケータ機能（故障候補座標の登録）
- 等電位ノード（配線）トレース機能
- EMS解析オプション機能を搭載
特長
- CADデータ（ 設計データ ）と各解析装置のステージが連動し、誰でも簡単に故障候補の位置出しが可能です。
- CADデータから等電位ノードを追跡し、欠陥範囲の絞込みが可能です。
- SEM/SIM像とCADデータを重ねて表示（ オーバレイ表示 ）する事による下層配線の確認と、加工時間のスループットの向上が可能です。
- オーバレイ表示によりプローブ位置の確認が容易に行なえます。