故障解析支援パッケージ

CADナビゲーションシステム　「AZSA-AR」「AZSA-HS」

LSIの高集積化/大規模化により 目視での解析が困難なLSIをCADデータを併用することにより測定/加工位置を瞬時に特定し、 大幅なTATの短縮を実現します。

SEM像3D/断面表示ソフトウェア　「SEM3D」

試料の断面を連続的にFIB加工し撮影された複数SEM画像から、立体的な3Dイメージを構築・表示するプログラムです。任意の断面表示、内部構造の3Dオブジェクトの表示ができます。

オフライン解析ソフトウェア　「Aries」

簡単なアライメント作業で顕微鏡像を、対応するCAD像へ自動配置します。

LSI設計支援パッケージ

高速レイアウトビューア　「SView/SView-PC」

大きなデータでも高速に読込、表示が可能です。GDSを確認するために特化しており設計、製造、故障解析等幅広い分野で御使用出来ます。