半導体SEMICONDUCTOR 故障解析支援 – 開発実績 故障解析 「SEM画像とCADデータ重ね合せ表示 (CADnavigation)」 解析装置から送られてくるSEM画像等とCADデータの重ね表示、連動等を行います。(BeNAS・NASFA開発販売) 「パストレース」 レイアウトデータの等電位追跡を行います。