データ変換ソフトウェア「G-Ras」

製品概要

LSIや液晶、基板などのCADデータOASISを読み込み、指定される領域のラスタライズ画像を高速に生成します。

特に検査工程あるいは製造工程で使用する装置と連携する上で、「装置側のTAT要求を満たすこと」「装置側とのインタフェースが取り扱いやすいこと」をキーポイントとして開発したソフトウェアになります。

特長

• 高速なデータ入力（GDSⅡ/OASISに対応）
• 高速な図形探索
• 高速なラスタライズ（ベクトル図形を画像に変換）
• HTTP通信による組み込み用インターフェース(Webアプリ/スクリプト制御可)

組込み可能装置

• 基板用フォトマスク欠陥検査装置　／　液晶用フォトマスク欠陥検査装置　／
  半導体用フォトマスク欠陥検査装置　CADデータのビューワー
• 基板用露光装置　／　液晶用露光装置　／　半導体用露光装置

詳細情報

• 組込み事例

組み込み事例

◇基板用フォトマスク欠陥検査装置

工夫箇所

GDSII入力後、時間がかかるグリッド補正を行ないG-Ras DBへ保存します。

検査時はこのG-Ras DBを使う事でデータ入力時間をほぼ0秒に抑えています。

G-Ras DB入力後は1スキャン毎にアライメント調整処理を行なってからラスタライズし、その画像をファイル出力せずに、直接共有メモリ経由で転送ボードへ送る事で転送時間を抑えています。